Thyro-XD – Leistungscontroller für präzise Temperaturregelung
FORTEC Switzerland präsentiert gemeinsam mit Advanced Energy den neuen Thyro-XD SCR-Leistungscontroller – eine kompakte, hochpräzise Lösung zur Regelung von lampenbasierten Heizprozessen in Halbleiter- und Industrieanwendungen, die höchste Temperaturstabilität erfordern.
Höchste Geschwindigkeit, Präzision und Kontrolle
- Echtzeit-Widerstandsmessung: Erlaubt ultraschnelle Temperaturerkennung für präzise Prozessführung.
- Hohe Leistungsdichte: Mit 188 W/in³ bietet der Thyro-XD doppelte Steuerleistung im Vergleich zu ähnlichen Produkten.
- Lüfterloses Design: Konvektionskühlung ersetzt aktive Lüfter – für einfacheren Aufbau und höhere Zuverlässigkeit.
- Extreme Genauigkeit: Fünffache Präzision bei Spannung, Strom und Leistung – für schnelle Reaktion auf Last- und Versorgungsschwankungen.
- Für Halbleiter optimiert: Kompaktes Format für moderne Wafer-Prozesse und dynamische Temperaturprofile.
Konnektivität & Integration
- Unterstützung von Advanced Bus Module™ (ABM)
- Optional mit EtherCAT
- Temperaturregelung über Impac® Pyrometer in Echtzeit integrierbar
Typische Anwendungen
- Halbleiter-Fertigungsanlagen
- Lampenbasierte Heizungen
- Präzise thermische Prozesse mit hohen Rampengeschwindigkeiten
- Systeme mit extremen Temperaturregelanforderungen