Kompakter Faseroptik-Thermometrie-Konverter für fortschrittliche Ätz- und Beschichtungsprozesse
Höhere Präzision und erweiterter Temperaturbereich für die Halbleiterfertigung der nächsten Generation
FORTEC Switzerland präsentiert den Advanced Energy M-1200, den neuesten Faseroptik-Thermometrie-Konverter (FOT), der auf der SEMICON® West 2025 vorgestellt wurde. Entwickelt für höchste Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Leistungsfähigkeit, setzt der M-1200 neue Maßstäbe für die Temperaturmessung in fortschrittlichen Ätz- und Beschichtungsprozessen.
Kompakt, präzise und zuverlässig
Speziell für Halbleiter-OEMs entwickelt, kombiniert der M-1200 ein kompaktes Design mit der Robustheit, die für den zuverlässigen Betrieb in rauen Prozessumgebungen erforderlich ist. So werden präzise und wiederholbare Messungen ermöglicht – die Grundlage für konstante Produktqualität und hohe Ausbeute in der Halbleiterfertigung.
Der M-1200 ist kleiner und genauer als herkömmliche Kontakt-Temperatursensoren und bietet einen weiten Messbereich von -200 °C bis +450 °C – ideal für die Anforderungen modernster Halbleiterprozesse.
Wichtige Merkmale & Vorteile
- Weiter Temperaturbereich: -200 °C bis +450 °C
- Hohe Messgenauigkeit für präzise Prozesskontrolle
- Kompakte Bauweise zur einfachen Integration in begrenzte Bauräume
- Ultra-schnelle EtherCAT-Kommunikation für Echtzeit-Temperaturdaten
- Flexible Sondenkonfigurationen für verschiedene Prozessanforderungen
- Proprietäre Phosphorformulierungen für optimierte Temperaturerkennung
- Robuste Konstruktion für den Einsatz in anspruchsvollen Industrieumgebungen
Interessiert am M-1200 Faseroptik-Thermometrie-Konverter von Advanced Energy? Kontaktieren Sie FORTEC Switzerland - wir beraten Sie gerne zu Integrationsmöglichkeiten und Lösungen für präzise und zuverlässige Temperaturmessung in der Halbleiterfertigung.