Advanced Energy stellt den 401M Mid-Infrarot-Pyrometer für präzise Prozesskontrolle in der Halbleiterfertigung vor
Schnelle, präzise und anpassbare Temperaturmessung für anspruchsvolle Epitaxie- und Beschichtungsprozesse
Advanced Energy präsentiert den neuen 401M Mid-Infrarot-Pyrometer - einen Sensor der nächsten Generation für hochpräzise, berührungslose Temperaturmessungen in Halbleiter- und Industrieprozessen.
Höchste Präzision und Reaktionsgeschwindigkeit
Der 401M ermöglicht Echtzeit-Regelkreise mit einer Reaktionszeit von nur 1 Mikrosekunde und einer Genauigkeit von ±3 °C im Temperaturbereich von 50 °C bis 1.300 °C. Dank seiner Mid-Infrarot-Technologie misst er zuverlässig durch transparente Oberflächen oder außerhalb der Prozesskammer - ideal für lampenerwärmte Epitaxie-, CVD- und Dünnschicht-Beschichtungsprozesse, bei denen herkömmliche Nah-Infrarot-Pyrometer an ihre Grenzen stoßen.
Entwickelt für fortschrittliche Halbleiterprozesse
Der 401M ermöglicht störungsfreie Temperaturüberwachung und trägt so zu höherer Prozessstabilität und Ausbeute bei. Die integrierte EtherCAT®-Schnittstelle macht externe Module überflüssig, vereinfacht die Integration und reduziert Ausfallrisiken.
Mit anpassbaren Parametern, wie Messwellenlänge, Temperaturbereich, Arbeitsabstand und Messpunktgröße, lässt sich der Pyrometer flexibel in unterschiedliche Beschichtungssysteme und Materialien integrieren. Zudem ist er rückwärtskompatibel mit der bestehenden OR400M-Plattform, was einen kosteneffizienten Umstieg ermöglicht.
Vorteile auf einen Blick
- Echtzeit-Temperaturregelung mit Mikrosekunden-Reaktionszeit
- Präzision von ±3 °C über weiten Temperaturbereich
- EtherCAT®-Schnittstelle für einfache Integration
- Anpassbar für verschiedene Prozessumgebungen
- Rückwärtskompatibel zur OR400M-Plattform
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